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SEMI F47半导体生产设备电压暂降免疫标准

电能质量分析仪产品与技术网 / 2009-06-15

SEMI F47对半导体生产设备、子系统和元器件对电压瞬间跌落的规定是:

当电压降至额定电压的50%,持续时间为200ms时,半导体生产设备,子系统和元器件仍能继续工作;
当电压降至额定电压的70%,持续时间为500ms时,半导体生产设备,子系统和元器件仍能继续工作;
当电压降至额定电压的80%,持续时间为1000ms时,半导体生产设备,子系统和元器件仍能继续工作.
从上图可以看出,先进生产设备若满足SEMI F47电压暂降免疫标准将避免90%以上的电压暂降造成停机停产的影响.目前半导体生产设备是否满足SEMI 47标准是Fab工厂重要考核的技术指标.先这一标准已被不少其他行业作为设备采购标准.

 

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